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NXP系列多維度光學(xué)耦合臺(tái)產(chǎn)品概述
說(shuō)明：
NXP 系列多維度光學(xué)耦合臺(tái)包含六軸耦合臺(tái)和三軸耦合臺(tái)，以及可用于其他產(chǎn)品的手動(dòng)驅(qū)動(dòng)和電動(dòng)驅(qū)動(dòng)。它適用于光纖、波導(dǎo)、光電封裝和任何其他高分辨率對(duì)準(zhǔn)或定位應(yīng)用，包括通用實(shí)驗(yàn)室任務(wù)。創(chuàng)新的柔性設(shè)計(jì)與模塊化驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)相結(jié)合，提供了卓*的性能和靈活性。
NXP 系列六軸耦合臺(tái)的位移臺(tái)在移動(dòng)平臺(tái)前都有不銹鋼探針，標(biāo)記所有旋轉(zhuǎn)軸的公共支點(diǎn)，所有旋轉(zhuǎn)軸都具有公共支點(diǎn)，可以減少系統(tǒng)的對(duì)準(zhǔn)時(shí)間。
NXP 系列多維度光學(xué)耦合臺(tái)產(chǎn)品內(nèi)部沒(méi)有導(dǎo)軌軸承，平行撓性設(shè)計(jì)確保滑臺(tái)連續(xù)的運(yùn)動(dòng)和長(zhǎng)期的穩(wěn)定性，非常適用于亞微米級(jí)分辨率的應(yīng)用。對(duì)于納米定位應(yīng)用，提供內(nèi)置壓電驅(qū)動(dòng)器的版本。這種結(jié)構(gòu)相對(duì)于滑臺(tái)組維的方式，穩(wěn)定性有極大的提高，在溫度較為恒定的條件下，產(chǎn)品適用于光纖對(duì)準(zhǔn)等需要保持靜態(tài)粘接的應(yīng)用中。
NXP 系列多維度光學(xué)耦合臺(tái)可進(jìn)行手動(dòng)驅(qū)動(dòng) / 電動(dòng)驅(qū)動(dòng)快換，可滿足空間中不同維度使用混裝驅(qū)動(dòng)器。
命名規(guī)則
NXP系列多維度光學(xué)耦合臺(tái)選型表
注：表格為NXP系列產(chǎn)品型號(hào)匯總，其中紅色標(biāo)注型號(hào)為研發(fā)中產(chǎn)品
六軸高精度耦合臺(tái)
型號(hào) | NXP-6M | NXP-6P | NXP-6NP | |
行程 | X 、Y 、Z直線行程為4 mm。Rx、 Ry、 Rz(擺動(dòng)、俯仰和偏轉(zhuǎn))行程為4 。(70mrad) | |||
傳動(dòng)比 | X軸和Y軸傳動(dòng)比為1： 1.5，驅(qū)動(dòng)器每平移1 mm，位移臺(tái)將平移1.5 mm；Z軸的傳動(dòng)比為1:1；三個(gè)旋轉(zhuǎn)軸驅(qū)動(dòng)每平移 1μm，旋轉(zhuǎn)17μrad | |||
分辨率 | 見(jiàn)驅(qū)動(dòng) | |||
旋轉(zhuǎn)中心 | 公共旋轉(zhuǎn)中心；最大串?dāng)_100 µm | |||
壓電 | 規(guī)格 |
無(wú) | 開(kāi)環(huán)壓電 | 閉環(huán)壓電 |
行程 | 19µm | |||
分辨率 | X 、Y 、Z 1nm / Rx、 Ry、 Rz 0.018 µrad | |||
最大負(fù)載 | 1kg | |||
共振頻率 | >130 Hz(±10%) | |||
熱穩(wěn)定性 | 1μm/℃ | |||
三軸高精度耦合臺(tái)
型號(hào) | NXP-3M | NXP-3P | NXP-3NP | |
行程 | 4 mm | |||
傳動(dòng)比 | 1:1 | |||
分辨率 | 見(jiàn)驅(qū)動(dòng) | |||
串?dāng)_ | 100um | |||
頂板平行度 | ＜100µm | |||
壓電 | 規(guī)格 | 無(wú) | 開(kāi)環(huán)壓電 | 閉環(huán)壓電 |
行程 | 19µm | |||
分辨率 | X 、Y 、Z 1nm / Rx、 Ry、 Rz 0.018 µrad | |||
最大負(fù)載 | 1kg | |||
共振頻率 | >130 Hz(±10%) | |||
熱穩(wěn)定性 | 1μm/℃ | |||
驅(qū)動(dòng)
型號(hào) | DNXP-M | DNXP-A |
驅(qū)動(dòng)類(lèi)型 | 手動(dòng) | 電動(dòng) |
行程 | 13mm 與NXP系列設(shè)備配合使用后行程4mm | 8mm 與NXP系列設(shè)備配合使用后行程4mm |
分辨率 | 粗調(diào)10 µm，微調(diào)0.5 µm | 1.25 µm |
電機(jī) | 無(wú) | 28步進(jìn)電機(jī)，步距角1.8。 |
限位 | 內(nèi)置限位開(kāi)關(guān) | |
定位精度 | 雙向重復(fù)性為5.0 µm |
NXP多維度光學(xué)耦合臺(tái)尺寸圖
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